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Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化

范鲜红 李敏 尼启良 刘世界 王晓光 陈波

物理学报2008，Vol.57Issue(10)：6494-6499,6.
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物理学报2008，Vol.57Issue(10)：6494-6499,6.

Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化

Change of reflectivity of Mo/Si multilayer irradiated by proton

范鲜红 1李敏 2尼启良 1刘世界 2王晓光 1陈波1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家莺点实验室,长春,130033
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

质子辐照/Mo/Si多层膜反射镜/辐照损伤

分类

化学化工

引用本文复制引用

范鲜红,李敏,尼启良,刘世界,王晓光,陈波..Mo/Si多层膜在质子辐照下反射率的变化[J].物理学报,2008,57(10):6494-6499,6.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60677043,40774098)资助的课题. （批准号:60677043,40774098）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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