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BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性

岳金顺 程文娟 蒋钢娟 贺德衍 陈光华

材料科学与工程2000,Vol.18Issue(z2):650-652,3.
材料科学与工程2000,Vol.18Issue(z2):650-652,3.

BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性

岳金顺 1程文娟 1蒋钢娟 1贺德衍 1陈光华2

作者信息

  • 1. 兰州大学物理系,兰州,730000
  • 2. 北京工业大学应用物理系,北京,100022
  • 折叠

摘要

关键词

BCN薄膜 射频反应溅射 结构和电学特性

引用本文复制引用

岳金顺,程文娟,蒋钢娟,贺德衍,陈光华..BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性[J].材料科学与工程,2000,18(z2):650-652,3.

基金项目

"留法学者参加西部建设"启动基金资助项目 ()

材料科学与工程

OACSCDCSTPCD

1673-2812

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