材料科学与工程2000,Vol.18Issue(z2):650-652,3.
BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性
岳金顺 1程文娟 1蒋钢娟 1贺德衍 1陈光华2
作者信息
- 1. 兰州大学物理系,兰州,730000
- 2. 北京工业大学应用物理系,北京,100022
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岳金顺,程文娟,蒋钢娟,贺德衍,陈光华..BCN薄膜的射频反应溅射法制备与结构特性[J].材料科学与工程,2000,18(z2):650-652,3.基金项目
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