激光技术2005，Vol.29Issue(6)：652-653,656,3.
激光处理GaN薄膜的研究
The research of laser treatment of GaN thin film
陶华锋 1杨忠孝 1宁永功 1屠晶景 1徐洪艳1
作者信息
- 1. 电子科技大学,微电子与固体电子学院,成都,610054
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摘要
关键词
GaN薄膜/损伤阈值/激光处理/缺陷密度分类
数理科学引用本文复制引用
陶华锋,杨忠孝,宁永功,屠晶景,徐洪艳..激光处理GaN薄膜的研究[J].激光技术,2005,29(6):652-653,656,3.
