传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：656-659,4.
一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关
SP4T RF MEMS Switch with Low Actuation Voltage
摘要
关键词
RF MEMS/开关/单刀多掷/接触式分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
胡光伟,刘泽文,侯智昊,李志坚..一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关[J].传感技术学报,2008,21(4):656-659,4.基金项目
国家自然科学基金资助(60576048) （60576048）
北京市科委项目基金资助(GYYKW05070014) （GYYKW05070014）
