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闭合场非平衡磁控溅射离子CrAlTiN镀层在PCB用微钻中的应用

种艳琳 蒋白灵 白力静

表面技术2006,Vol.35Issue(2):65-68,4.
表面技术2006,Vol.35Issue(2):65-68,4.

闭合场非平衡磁控溅射离子CrAlTiN镀层在PCB用微钻中的应用

Application of the CrAlTiN Coating of Closed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating on the PCB Micro-drill

种艳琳 1蒋白灵 1白力静1

作者信息

  • 1. 西安理工大学,陕西,西安,710048
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摘要

关键词

闭合场/非平衡/磁控溅射/离子镀/CrAlTiN镀层/PCB微钻/寿命/耐磨性

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

种艳琳,蒋白灵,白力静..闭合场非平衡磁控溅射离子CrAlTiN镀层在PCB用微钻中的应用[J].表面技术,2006,35(2):65-68,4.

表面技术

OACSCDCSTPCD

1001-3660

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