曲阜师范大学学报（自然科学版）2007，Vol.33Issue(1)：65-68,4.
不同的氧氩比对ZnO薄膜性能的影响
Effect of Difference O2 to Ar Ratio on Function of ZnO Thin Film
摘要
关键词
ZnO薄膜/晶体结构/导电性能/氧氩比分类
数理科学引用本文复制引用
潘志峰,袁一方,李清山,孔繁之,张利宁..不同的氧氩比对ZnO薄膜性能的影响[J].曲阜师范大学学报（自然科学版）,2007,33(1):65-68,4.基金项目
山东省教育厅科研发展计划资助项目(03C08). （03C08）
