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磁控溅射方法制备(CoCr/Pt)20纳米多层膜及表征

黄阀 李宝河 杨涛 翟中海 朱逢吾

半导体学报2005，Vol.26Issue(z1)：65-69,5.
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半导体学报2005，Vol.26Issue(z1)：65-69,5.

磁控溅射方法制备(CoCr/Pt)20纳米多层膜及表征

Characterization of (CoCr/Pt) 20 Namomultilayers Preparation by Magnetron Sputtring

黄阀 1李宝河 2杨涛 1翟中海 3朱逢吾1

作者信息

  • 1. 北京科技大学材料物理与化学系,北京,100083
  • 2. 金日成综合大学物理系,平壤,朝鲜
  • 3. 北京工商大学数理部,北京,100037
  • 折叠

摘要

关键词

溅射气压/纳米多层膜/垂直磁各向异性/有效磁各向异性常数

分类

数理科学

引用本文复制引用

黄阀,李宝河,杨涛,翟中海,朱逢吾..磁控溅射方法制备(CoCr/Pt)20纳米多层膜及表征[J].半导体学报,2005,26(z1):65-69,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:50301002) （批准号:50301002）

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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