无机材料学报2002，Vol.17Issue(4)：657-664,8.
立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用
Microfabrication Technology of Three-Dimensional Microdevices and Their MEMS Applications
摘要
关键词
MEMS/微制造/微型器件/压电/热电/碳化硅分类
化学化工引用本文复制引用
李敬锋..立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用[J].无机材料学报,2002,17(4):657-664,8.基金项目
清华大学骨干人才支持计划 （）
