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离子轰击入射角对溅射参数的影响

邵其鋆 霍裕昆 陈建新 吴士明 潘正瑛

物理学报Issue(4)：659-666,8.
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物理学报Issue(4)：659-666,8.

离子轰击入射角对溅射参数的影响

邵其鋆 1霍裕昆 1陈建新 1吴士明 1潘正瑛1

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摘要

关键词

离子轰击/入射角/溅射参数

分类

能源科技

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邵其鋆,霍裕昆,陈建新,吴士明,潘正瑛..离子轰击入射角对溅射参数的影响[J].物理学报,1991,(4):659-666,8.

物理学报

OACSCD

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