传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：660-663,4.
串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究
Design and Fabrication of a Capacitive Series RF MEMS Switch
摘要
关键词
射频/微电子机械系统/串联电容式RF MEMS开关/串联电容式/内应力分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
侯智昊,刘泽文,胡光伟,刘理天,李志坚..串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究[J].传感技术学报,2008,21(4):660-663,4.基金项目
国家自然科学基金资助(60576048) （60576048）
北京市科委项目基金资助(GYYKW05070014) （GYYKW05070014）
