物理学报2008，Vol.57Issue(10)：6643-6648,6.
数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻
Numerical simulation of probe induced surface plasmon resonance coupling nanolithography
摘要
关键词
纳米光刻/表面等离子体共振/时域有限差分方法分类
数理科学引用本文复制引用
洪小刚,徐文东,李小刚,赵成强,唐晓东..数值模拟探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻[J].物理学报,2008,57(10):6643-6648,6.基金项目
上海市科委科技基金(批准号:06DJ14007),国家自然科学基金重大项目(批准号:60490294),国家自然科学基金(批准号:50502036)和上海市"曙光"计划(批准号:06SG30)资助的课题. （批准号:06DJ14007）
