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硅中注铅的连续 CO2 激光退火行为

殷士端 张敬平 顾诠 陆珉华

半导体学报Issue(6)：665,1.
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半导体学报Issue(6)：665,1.

硅中注铅的连续 CO2 激光退火行为

殷士端 1张敬平 1顾诠 1陆珉华1

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殷士端,张敬平,顾诠,陆珉华..硅中注铅的连续 CO2 激光退火行为[J].半导体学报,1987,(6):665,1.

半导体学报

1674-4926

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