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半导体学报
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SOS膜的铝自掺杂剖面
SOS膜的铝自掺杂剖面
陈庆贵
蔡希介
史日华
王其闵
陆东元
半导体学报
Issue(6)：666,1.
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半导体学报
Issue(6)
：666,1.
SOS膜的铝自掺杂剖面
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史日华
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陈庆贵,蔡希介,史日华,王其闵,陆东元..SOS膜的铝自掺杂剖面[J].半导体学报,1984,(6):666,1.
半导体学报
ISSN：
1674-4926
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