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半绝缘半导体切片电阻率无接触测定方法研究

秦涛 何秀坤 董彦辉 李劼

电子科技2009，Vol.22Issue(5)：66-68,3.
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电子科技2009，Vol.22Issue(5)：66-68,3.

半绝缘半导体切片电阻率无接触测定方法研究

Determination of the Resistivity of Semi-insulating Semiconductors by Non-contact Measurement

秦涛 1何秀坤 2董彦辉 2李劼1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071
  • 2. 中国电子科技集团公司第46研究所质量检验中心,天津,300192
  • 折叠

摘要

关键词

半导体SiC/电阻率/无接触测量/电容器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

秦涛,何秀坤,董彦辉,李劼..半绝缘半导体切片电阻率无接触测定方法研究[J].电子科技,2009,22(5):66-68,3.

基金项目

国家重点基础研究发展规划资助项目(51327020102) （51327020102）

电子科技

1007-7820

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