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基于镜像法提取多层介质中3D电容参数的研究

丁文 王高峰

高技术通讯2009，Vol.19Issue(1)：66-70,5.
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高技术通讯2009，Vol.19Issue(1)：66-70,5.

基于镜像法提取多层介质中3D电容参数的研究

3D capacitance extraction in multi-layered dielectric media based on image method

丁文 1王高峰2

作者信息

  • 1. 武汉大学微电子信息技术研究院,武汉,430072
  • 2. 武汉大学物理科学与技术学院,武汉,430072
  • 折叠

摘要

关键词

3D电容提取/镜像法/格林函数/自由电荷方法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

丁文,王高峰..基于镜像法提取多层介质中3D电容参数的研究[J].高技术通讯,2009,19(1):66-70,5.

基金项目

国家自然科学基金(90307017, 60676019)资助项目. （90307017, 60676019）

高技术通讯

OA北大核心CSCDCSTPCD

1002-0470

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