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溅射功率对氧化锡薄膜结构和电化学性能的影响

蔡敏真 宋杰 吴启辉 郑明森 吴孙桃 董全峰

电化学2008，Vol.14Issue(1)：66-70,5.
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电化学2008，Vol.14Issue(1)：66-70,5.

溅射功率对氧化锡薄膜结构和电化学性能的影响

The Influence of the Sputtering Power on the Structural and Electrochemical Properties of Tin Oxide Films

蔡敏真 1宋杰 2吴启辉 1郑明森 2吴孙桃 3董全峰2

作者信息

  • 1. 厦门大学物理系,福建,厦门,361005
  • 2. 厦门大学,固体表面物理化学国家重点实验室,化学化工学院化学系,福建,厦门,361005
  • 3. 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锡薄膜/阳极材料/磁控溅射/电化学性能

分类

化学化工

引用本文复制引用

蔡敏真,宋杰,吴启辉,郑明森,吴孙桃,董全峰..溅射功率对氧化锡薄膜结构和电化学性能的影响[J].电化学,2008,14(1):66-70,5.

基金项目

国家重点基础研究发展计划项目(973计划,No.2002CB211807)资助 （973计划,No.2002CB211807）

电化学

OA北大核心CSCDCSTPCD

1006-3471

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