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辉光放电质谱仪测定超纯锗中23种痕量杂质元素

普朝光

质谱学报Issue(4)：67,1.
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质谱学报Issue(4)：67,1.

辉光放电质谱仪测定超纯锗中23种痕量杂质元素

普朝光1

作者信息

  • 1. 昆明物理研究所;昆明物理研究所
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摘要

关键词

辉光放电质谱仪/痕量杂质/锗半导体/纯度

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

普朝光..辉光放电质谱仪测定超纯锗中23种痕量杂质元素[J].质谱学报,1997,(4):67,1.

质谱学报

OACSCD

1004-2997

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