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大庆石油学院学报
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光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计
光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计
袁智敏
张江陵
李从信
陈莉
大庆石油学院学报
Issue(2)：67,1.
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大庆石油学院学报
Issue(2)
：67,1.
光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计
袁智敏
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张江陵
1
李从信
1
陈莉
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关键词
光刻伺服
/
定位系统
/
位置传感器
/
传感器
分类
信息技术与安全科学
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袁智敏,张江陵,李从信,陈莉..光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器设计[J].大庆石油学院学报,1995,(2):67,1.
基金项目
国家自然科学基金委基金 （）
大庆石油学院学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
2095-4107
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