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多晶砷化镓薄膜的制备及其性能研究

高元恺韩爱珍赵永春林逸青

半导体学报Issue(10)：670,1.

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半导体学报Issue(10)：670,1.

多晶砷化镓薄膜的制备及其性能研究

高元恺 ¹韩爱珍 ¹赵永春 ¹林逸青¹

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关键词

多晶/砷化镓/薄膜/制备/性能

分类

信息技术与安全科学

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高元恺,韩爱珍,赵永春,林逸青..多晶砷化镓薄膜的制备及其性能研究[J].半导体学报,1994,(10):670,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

ISSN：1674-4926

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