电子学报2003，Vol.31Issue(5)：671-673,3.
射频微机械CPW开关的研究
Research for RF Micromechanical CPW Switch
摘要
关键词
射频微机械开关/CPW开关/金属膜/绝缘层/牺牲层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张正元,温志渝,徐世六,张正番,黄尚廉..射频微机械CPW开关的研究[J].电子学报,2003,31(5):671-673,3.基金项目
重庆市科技攻关项目(No.20017036) （No.20017036）
