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一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法

彭仁军 陈献忠 王艳平 吴健

强激光与粒子束2006,Vol.18Issue(4):671-674,4.
强激光与粒子束2006,Vol.18Issue(4):671-674,4.

一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法

A binary computer generated hologram method for atom hologram lithography

彭仁军 1陈献忠 2王艳平 1吴健1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,光电信息学院,激光雷达实验室,成都,610054
  • 2. 中国科学院,光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209
  • 折叠

摘要

关键词

原子全息光刻/二元计算全息/编码/微细结构

分类

数理科学

引用本文复制引用

彭仁军,陈献忠,王艳平,吴健..一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法[J].强激光与粒子束,2006,18(4):671-674,4.

基金项目

中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助课题 ()

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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