强激光与粒子束2006,Vol.18Issue(4):671-674,4.
一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法
A binary computer generated hologram method for atom hologram lithography
摘要
关键词
原子全息光刻/二元计算全息/编码/微细结构分类
数理科学引用本文复制引用
彭仁军,陈献忠,王艳平,吴健..一种可用于原子全息光刻的二元计算全息新方法[J].强激光与粒子束,2006,18(4):671-674,4.基金项目
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助课题 ()