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单晶硅(001)衬底材料中非经典衍射的研究

李卫 傅建华

四川大学学报(自然科学版)2002,Vol.39Issue(4):671-674,4.
四川大学学报(自然科学版)2002,Vol.39Issue(4):671-674,4.

单晶硅(001)衬底材料中非经典衍射的研究

Investigation into the Forbidden Reflection from the Single Crystal (001) Silicon Substrate

李卫 1傅建华2

作者信息

  • 1. 四川大学材料科学与工程学院,成都,610064
  • 2. 杭州市江干区可靠性仪器厂,杭州,310017
  • 折叠

摘要

关键词

硅基材料/Si(200)衍射/非对称的电子云分布/非谐性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李卫,傅建华..单晶硅(001)衬底材料中非经典衍射的研究[J].四川大学学报(自然科学版),2002,39(4):671-674,4.

四川大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

0490-6756

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