中国机械工程2009，Vol.20Issue(6)：673-677,682,6.
压电工作台快速动态定位建模及其控制器设计
Modeling and Controller Design of Piezopositioning Stage for High Speed Dynamic Positioning
摘要
关键词
压电工作台/动态定位/动态迟滞模型/PI迟滞模型分类
机械制造引用本文复制引用
张栋,张承进,魏强..压电工作台快速动态定位建模及其控制器设计[J].中国机械工程,2009,20(6):673-677,682,6.基金项目
山东省科技发展计划资助项目(2007GG30D04D02) （2007GG30D04D02）
