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晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响

许怀哲 朱美芳 韩一琴 侯伯元

半导体学报Issue(9)：674,1.
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半导体学报Issue(9)：674,1.

晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响

许怀哲 1朱美芳 1韩一琴 2侯伯元2

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学研究生院
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摘要

关键词

纳米晶硅/薄膜/喇曼散射谱/晶粒尺寸分布

分类

信息技术与安全科学

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许怀哲,朱美芳,韩一琴,侯伯元..晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响[J].半导体学报,1997,(9):674,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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