|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|吉林大学自然科学学报|微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜

微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜

顾长志

吉林大学自然科学学报Issue(3)：67-69,3.
✕
吉林大学自然科学学报Issue(3)：67-69,3.

微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜

顾长志1

作者信息

  • 1. 吉林大学超硬材料国家重点实验室;日本千叶工业大学
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石/薄膜/微波等离子体/化学气相沉积/制备

分类

数理科学

引用本文复制引用

顾长志..微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜[J].吉林大学自然科学学报,1997,(3):67-69,3.

吉林大学自然科学学报

1671-5489

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文