强激光与粒子束2008，Vol.20Issue(1)：67-70,4.
高反射率Mo/B4C多层膜设计及制备
Design and fabrication of high reflectivity Mo/B4C multilayer mirrors
摘要
关键词
软X射线/Mo/B4C多层膜/遗传算法/直流磁控溅射/应力/反射率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张慧晶,张众,朱京涛,白亮,陈锐,黄秋实,刘丽琴,谭默言,王风丽,王占山,陈玲燕..高反射率Mo/B4C多层膜设计及制备[J].强激光与粒子束,2008,20(1):67-70,4.基金项目
国家高技术发展计划项目 （）
国家自然科学基金资助课题(10435050 （）
10675091) （）
