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用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜

秦俊岭 邵建达 易葵

强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(1)：67-70,4.
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强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(1)：67-70,4.

用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜

Mo/Si multilayers prepared with different sputtering power of Mo target

秦俊岭 1邵建达 2易葵1

作者信息

  • 1. 中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

Mo靶/Mo/Si多层膜/溅射功率/软X射线/反射率

分类

数理科学

引用本文复制引用

秦俊岭,邵建达,易葵..用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜[J].强激光与粒子束,2007,19(1):67-70,4.

基金项目

国家863计划项目资助课题 （）

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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