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Al/a-Si:H 界面反应和热处理行为光发射研究

钟战天 王大文 廖显伯 牟善明 范越 李承芳

半导体学报Issue(2)：68,1.
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半导体学报Issue(2)：68,1.

Al/a-Si:H 界面反应和热处理行为光发射研究

钟战天 1王大文 1廖显伯 1牟善明 1范越 1李承芳1

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钟战天,王大文,廖显伯,牟善明,范越,李承芳..Al/a-Si:H 界面反应和热处理行为光发射研究[J].半导体学报,1991,(2):68,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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