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碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器

梁晋涛 刘诗斌 刘君华 朱长纯

光学精密工程2008,Vol.16Issue(4):682-688,7.
光学精密工程2008,Vol.16Issue(4):682-688,7.

碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器

Miero-cantilever thermal infrared detector with carbon nanotubes

梁晋涛 1刘诗斌 1刘君华 2朱长纯2

作者信息

  • 1. 西北工业大学,电子信息学院,陕西,西安,710072
  • 2. 西安交通大学,电气学院,陕西,西安,710049
  • 折叠

摘要

关键词

红外探测器/微悬臂梁/微机械技术/碳纳米管

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

梁晋涛,刘诗斌,刘君华,朱长纯..碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器[J].光学精密工程,2008,16(4):682-688,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.60276037) (No.60276037)

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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