光学精密工程2008,Vol.16Issue(4):682-688,7.
碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器
Miero-cantilever thermal infrared detector with carbon nanotubes
摘要
关键词
红外探测器/微悬臂梁/微机械技术/碳纳米管分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁晋涛,刘诗斌,刘君华,朱长纯..碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器[J].光学精密工程,2008,16(4):682-688,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60276037) (No.60276037)