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纳米硅薄膜结构分析

何宇亮 殷晨钟 程光煦 王路春 李齐

半导体学报Issue(11)：683,1.
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半导体学报Issue(11)：683,1.

纳米硅薄膜结构分析

何宇亮 1殷晨钟 1程光煦 1王路春 1李齐1

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摘要

关键词

薄膜/纳米硅

分类

信息技术与安全科学

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何宇亮,殷晨钟,程光煦,王路春,李齐..纳米硅薄膜结构分析[J].半导体学报,1992,(11):683,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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