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金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长

韩祀瑾 陈金松 方容川 尚乃贵 邵庆益 乐德芬 廖源 叶祉渊 易波 崔景彪

ACTA PHYSICA SINICAIssue(4):686-691,6.
ACTA PHYSICA SINICAIssue(4):686-691,6.

金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长

韩祀瑾 1陈金松 1方容川 2尚乃贵 2邵庆益 2乐德芬 2廖源 2叶祉渊 2易波 2崔景彪2

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学物理系
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摘要

关键词

多晶铜/磷脱氧铜/金刚石/薄膜生长

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

韩祀瑾,陈金松,方容川,尚乃贵,邵庆益,乐德芬,廖源,叶祉渊,易波,崔景彪..金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998,(4):686-691,6.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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