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精密狭缝机构及其自动调节系统设计

张凤生 杨杰 叶军

光学精密工程2004,Vol.12Issue(z1):68-71,4.
光学精密工程2004,Vol.12Issue(z1):68-71,4.

精密狭缝机构及其自动调节系统设计

Design of precision slit mechanism and its auto-regulating system

张凤生 1杨杰 1叶军1

作者信息

  • 1. 青岛大学,机电工程学院,山东,青岛,266071
  • 折叠

摘要

关键词

柔性铰链/狭缝机构/光栅测量系统

分类

机械制造

引用本文复制引用

张凤生,杨杰,叶军..精密狭缝机构及其自动调节系统设计[J].光学精密工程,2004,12(z1):68-71,4.

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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