四川师范大学学报（自然科学版）2005，Vol.28Issue(6)：687-690,4.
椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量
Ellipsometric Spectrum Study on Diamond-like Carbon Films
杜泉 1邓学儒 1郭文胜2
作者信息
- 1. 西华大学,应用物理研究所,网川,成都,610039
- 2. 四川大学,电子信息学院,四川,成都,610064
- 折叠
摘要
关键词
椭偏光谱仪/类金刚石薄膜/sp3/sp2/多样品分析法分类
数理科学引用本文复制引用
杜泉,邓学儒,郭文胜..椭偏谱法测量类金刚石薄膜的质量[J].四川师范大学学报（自然科学版）,2005,28(6):687-690,4.
