计量学报2002，Vol.23Issue(1)：6-9,4.
相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用
Application of Phase Shift Interferometry to the Measurement of Small Angle and Linearity
王权陡 1余景池 1张忠玉 1张学军1
作者信息
- 1. 中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室,长春,130022
- 折叠
摘要
关键词
相移干涉/Zernike多项式/直线度分类
通用工业技术引用本文复制引用
王权陡,余景池,张忠玉,张学军..相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用[J].计量学报,2002,23(1):6-9,4.
