机械与电子Issue(3)：69-71,3.
磁控溅射中频电源仿真研究
The Simulation Research on Medium-frequency Power Supply for Magnetron Sputtering
陈文光 1何怡刚 2肖金凤2
作者信息
- 1. 南华大学,湖南,衡阳,421001
- 2. 湖南大学,湖南,长沙,410082
- 折叠
摘要
关键词
磁控溅射/电源/脉宽调制/仿真分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈文光,何怡刚,肖金凤..磁控溅射中频电源仿真研究[J].机械与电子,2005,(3):69-71,3.
