发光学报2003，Vol.24Issue(1)：69-72,4.
射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的发光特性
Luminescence Properties of ZnO Films Prepared by r. f. Magnetron Sputtering
摘要
关键词
ZnO薄膜/磁控溅射/光致发光分类
数理科学引用本文复制引用
王卿璞,张德恒,薛忠营,陈寿花,马洪磊..射频磁控溅射法制备ZnO薄膜的发光特性[J].发光学报,2003,24(1):69-72,4.基金项目
国家自然科学基金(60076006) （60076006）
教育部博士基金(2000042204)资助项目 （2000042204）
