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薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制

刘娜 汪仁煌 龚雄文 庞然

广东工业大学学报2008,Vol.25Issue(1):69-72,4.
广东工业大学学报2008,Vol.25Issue(1):69-72,4.

薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制

Constant Temperature Control Based on Thermoelectric Cooling Used in Gas Permeability Test

刘娜 1汪仁煌 1龚雄文 1庞然1

作者信息

  • 1. 广东工业大学,自动化学院,广东,广州,510090
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摘要

关键词

薄膜透气性测试/半导体制冷/PID恒温控制/单片机MSC1210

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘娜,汪仁煌,龚雄文,庞然..薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制[J].广东工业大学学报,2008,25(1):69-72,4.

广东工业大学学报

OACSTPCD

1007-7162

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