广东工业大学学报2008,Vol.25Issue(1):69-72,4.
薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制
Constant Temperature Control Based on Thermoelectric Cooling Used in Gas Permeability Test
刘娜 1汪仁煌 1龚雄文 1庞然1
作者信息
- 1. 广东工业大学,自动化学院,广东,广州,510090
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摘要
关键词
薄膜透气性测试/半导体制冷/PID恒温控制/单片机MSC1210分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘娜,汪仁煌,龚雄文,庞然..薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制[J].广东工业大学学报,2008,25(1):69-72,4.