电子器件2006，Vol.29Issue(1)：69-72,75,5.
用两次键合技术制备均匀单晶硅膜
Fabrication of Uniform Crystal Silicon Membrane Using Two-Step Silicon Direct Bonding Technology
摘要
关键词
硅直接键合/减薄/单晶硅薄膜/MEMS器件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何芳,黄庆安,秦明..用两次键合技术制备均匀单晶硅膜[J].电子器件,2006,29(1):69-72,75,5.基金项目
国家自然科学基金资助课题(60476019) （60476019）
