中国机械工程2009，Vol.20Issue(1)：69-73,5.
化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工
High-precision and Super-smooth Fabrication of CVD SiC Flat Reflecting Mirror
摘要
关键词
化学气相沉积碳化硅/超光滑/亚表面损伤/离子束抛光分类
机械制造引用本文复制引用
康念辉,李圣怡,郑子文,戴一帆..化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工[J].中国机械工程,2009,20(1):69-73,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50775216) （50775216）
精密与特种加工教育部重点实验室开放基金资助项目(JMTZ200705) （JMTZ200705）
