光学精密工程2007，Vol.15Issue(1)：69-75,7.
微电铸器件铸层均匀性的研究
Study on uniformity of micro-electroformed device
摘要
关键词
铸层均匀性/Fick第二定律/正负脉冲电流分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杜立群,刘海军,秦江,朱神渺..微电铸器件铸层均匀性的研究[J].光学精密工程,2007,15(1):69-75,7.基金项目
国家863MEMS重大专项(No.2004AA404260) （No.2004AA404260）
国家自然科学基金(No.50675025) （No.50675025）
教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助 （）
