光学精密工程2005，Vol.13Issue(z1)：69-75,7.
精密定位技术研究
Study on precision positioning technique
摘要
关键词
精密定位/分辨率/宏运动/微运动/纳米分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙麟治,李鸣鸣,程维明..精密定位技术研究[J].光学精密工程,2005,13(z1):69-75,7.基金项目
国家高科技863基金项目(No.2002AA404450)并受到上海大学"先进制造与自动化211工程"重点学科资助 （No.2002AA404450）
