半导体学报2004，Vol.25Issue(6)：697-701,5.
静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟
Design,Analysis,and Simulation of Micro-Electro-Mechanical Digital/Analog Converter Based on Cantilever Electrostatic Actuator
摘要
关键词
悬臂梁/微执行器/非线性误差/数模转换器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王立峰,黄庆安..静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟[J].半导体学报,2004,25(6):697-701,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:60076028)和高等学校博士点基金(No.2000028620)资助项目 （批准号:60076028）
