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感光科学与光化学
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水溶性光致抗蚀剂研究进展
水溶性光致抗蚀剂研究进展
翟晓晓
褚战星
王力元
感光科学与光化学
2007，Vol.25
Issue(1)：69-79,11.
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感光科学与光化学
2007，Vol.25
Issue(1)
：69-79,11.
水溶性光致抗蚀剂研究进展
Research Development on Water-Soluble Photoresist
翟晓晓
1
褚战星
1
王力元
1
作者信息
1.
北京师范大学,化学学院,北京,100875
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关键词
水溶性光致抗蚀剂
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化学增幅
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负型
分类
化学
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翟晓晓,褚战星,王力元..水溶性光致抗蚀剂研究进展[J].感光科学与光化学,2007,25(1):69-79,11.
感光科学与光化学
OA
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1674-0475
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