|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|华中理工大学学报|微波ECR等离子体高速溅射装置的研制

微波ECR等离子体高速溅射装置的研制

汪建华 袁润章 邬钦崇 任兆杏

华中理工大学学报1999，Vol.27Issue(2)：70,1.
✕
华中理工大学学报1999，Vol.27Issue(2)：70,1.

微波ECR等离子体高速溅射装置的研制

汪建华 1袁润章 2邬钦崇 3任兆杏3

作者信息

  • 1. 武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室
  • 2. 中科院等离子体物理研究所
  • 折叠

摘要

关键词

ECR等离子体/半导体/高速溅射装置/薄膜/微波

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

汪建华,袁润章,邬钦崇,任兆杏..微波ECR等离子体高速溅射装置的研制[J].华中理工大学学报,1999,27(2):70,1.

华中理工大学学报

OA北大核心

1671-4512

访问量2
|
下载量0
段落导航相关论文