半导体学报2001，Vol.22Issue(6)：700-705,6.
新的二维解析方法预言场限环结构的电压分布和边界峰值电场及环间距的优化
A New Quasi 2-Dimensional Analytical Approach to Predicting RingJunction Voltage,Edge Peak Fields and Optimal Spacing of PlanarJunction with Single Floating Field Limiting Ring Structure
何进 1张兴 1黄如 1王阳元1
作者信息
- 1. 北京大学微电子学研究所,北京 100871
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摘要
关键词
场限环/击穿电压/峰值电场/环间距分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何进,张兴,黄如,王阳元..新的二维解析方法预言场限环结构的电压分布和边界峰值电场及环间距的优化[J].半导体学报,2001,22(6):700-705,6.
