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半导体学报
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用TOF-SIMS研究半导体芯片铝键合点上的有机沾污
用TOF-SIMS研究半导体芯片铝键合点上的有机沾污
郑国祥
李越生
宗祥福
任种
罗俊一
史刚
半导体学报
Issue(9)：702,1.
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半导体学报
Issue(9)
：702,1.
用TOF-SIMS研究半导体芯片铝键合点上的有机沾污
郑国祥
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李越生
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宗祥福
1
任种
1
罗俊一
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郑国祥,李越生,宗祥福,任种,罗俊一,史刚..用TOF-SIMS研究半导体芯片铝键合点上的有机沾污[J].半导体学报,1998,(9):702,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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