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用飞行时间法研究Si溅射离子簇质谱的结构效应

刘淑荣 江伟林 刘家瑞 林荫浓

物理学报Issue(5):703-708,6.
物理学报Issue(5):703-708,6.

用飞行时间法研究Si溅射离子簇质谱的结构效应

刘淑荣 1江伟林 1刘家瑞 1林荫浓1

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摘要

关键词

飞行时间法/质谱/离子簇/Si

分类

数理科学

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刘淑荣,江伟林,刘家瑞,林荫浓..用飞行时间法研究Si溅射离子簇质谱的结构效应[J].物理学报,1991,(5):703-708,6.

物理学报

OACSCD

1000-3290

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