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半导体学报
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硅中碳含量的低温红外光谱测量和碳带的温度特性
硅中碳含量的低温红外光谱测量和碳带的温度特性
何秀坤
王琴
李光平
阎萍
汝琼娜
李晓波
半导体学报
Issue(11)：704,1.
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半导体学报
Issue(11)
：704,1.
硅中碳含量的低温红外光谱测量和碳带的温度特性
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李光平
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阎萍
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汝琼娜
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硅
/
碳含量
/
红外光谱
分类
信息技术与安全科学
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何秀坤,王琴,李光平,阎萍,汝琼娜,李晓波..硅中碳含量的低温红外光谱测量和碳带的温度特性[J].半导体学报,1992,(11):704,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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