金刚石与磨料磨具工程Issue(3)：70-73,4.
直流电弧等离子体CVD金刚石膜工艺参数优化
Optimization on the technical parameters of DC arc plasma jet CVD diamond films
张鬲君 1苗晋琦 2钟国防2
作者信息
- 1. 中原工学院工业训练中心,郑州,450007
- 2. 北京科技大学材料学院,北京,100083
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摘要
关键词
直流电弧等离子体喷射/化学气相沉积/金刚石膜/工艺参数分类
化学化工引用本文复制引用
张鬲君,苗晋琦,钟国防..直流电弧等离子体CVD金刚石膜工艺参数优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2008,(3):70-73,4.
