液晶与显示2008，Vol.23Issue(6)：707-710,4.
薄膜厚度对ZnO:Zr透明导电薄膜光电性能的影响
Thickness Dependence of Optoelectric Properties of
摘要
关键词
ZnO/Zr/透明导电薄膜/磁控溅射/薄膜厚度/光电性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘汉法,张化福,类成新,袁长坤..薄膜厚度对ZnO:Zr透明导电薄膜光电性能的影响[J].液晶与显示,2008,23(6):707-710,4.基金项目
山东理工大学创新团队支持计划(No.2006) （No.2006）
